Вакуумная атмосферная трубчатая печь CVD-система 1400℃

1400℃ Вакуумная атмосферная трубчатая печь CVD-система

Обеспечивает экспериментальную среду с вакуумом, контролируемой атмосферой и высокой температурой. Эта система роста CVD подходит для процессов CVD, таких как покрытие карбидом кремния, тестирование проводимости керамической подложки, контролируемый рост наноструктур ZnO и эксперименты по спеканию в атмосфере MLCC.

• модельCVD-LTF14P/ CVD-LTF14T Series
• маркаLABOAO

Обеспечивает экспериментальную среду с вакуумом, контролируемой атмосферой и высокой температурой.

Эта система роста CVD подходит для процессов CVD, таких как покрытие карбидом кремния, тестирование проводимости керамической подложки, контролируемый рост наноструктур ZnO и эксперименты по спеканию в атмосфере MLCC.

ФУНКЦИИ

1. Печь изготовлена из поликристаллического муллитового волокна с вакуумной адсорбцией, температурное поле является равномерным, а энергосбережение составляет более 50%.

2. Технология отвода воздуха и теплоизоляции обеспечивает срок службы и постоянный температурный эффект каждого компонента в коробке.

3. Запустите электропечь, одновременно автоматически заработает вытяжной вентилятор. После испытания вытяжной вентилятор будет продолжать работать до тех пор, пока температура корпуса печи не станет ниже 60 °C, и вытяжной вентилятор автоматически остановится, что эффективно защитит поверхность корпуса печи.

4. Автоматическое отключение питания, функция защиты от перегрева, функция защиты от утечек для обеспечения безопасности использования.

5. Схема использует непрерывный режим нагрева, двухконтурный источник питания и раздельная проводка сильного и слабого тока улучшают стабильность системы.

6. Нагревательный модуль использует сигнал постоянного тока для регулировки выходной мощности, что позволяет избежать помех от наведенного электричества на управляющий сигнал.

7. Автоматическая компенсация эффекта контроля температуры, вызванного температурой или старением, при изменении значения сопротивления стержня из карбида кремния, что позволяет избежать неточности и опасности искусственной регулировки.

8. Принять цифровой прибор отображения расхода, сотрудничать с регулятором массового расхода, собирать данные и контролировать расход. Он имеет характеристики хорошей повторяемости, быстрой скорости отклика, стабильности и надежности. (Система управления массовым расходом газа)

9. Функция переключения автоматического управления и ручного управления, режим автоматического управления может автоматически включать / выключать вакуумный насос через заданное значение, чтобы удерживать контейнер в пределах определенного диапазона вакуумного давления. В режиме ручного управления пользователь непосредственно управляет вакуумным насосом с помощью кнопки включения/выключения вакуумного насоса. для удовлетворения потребностей различных экспериментов. (Система контроля среднего вакуума)

10 Технология медленного пуска электромагнитного клапана, так что электромагнитный клапан открывается через 10 секунд после включения вакуумного насоса, так что давление системы в трубе печи поддерживается точным, а также гарантирует, что выхлопной газ не вернется в система труб печи, влияющая на экспериментальный эффект (система управления средним вакуумом)

СПЕЦИФИКАЦИЯ