Вакуумно-атмосферная трубчатая печь CVD-система 1600°C

1600°C Вакуумно-атмосферная трубчатая печь CVD-система

Система CVD с вакуумной/атмосферной трубчатой печью 1600 ° C (CVD-TF) обеспечивает экспериментальную среду с вакуумом, контролируемой атмосферой и высокой температурой и используется в полупроводниковой, нанотехнологической, оптоволоконной и других областях. Эта система роста CVD подходит для процессов CVD, таких как покрытие карбидом кремния, испытание проводимости керамической подложки, контролируемый рост наноструктуры ZnO, спекание керамического конденсатора (MLCC) в атмосфере и другие эксперименты.

Система CVD с вакуумной/атмосферной трубчатой печью 1600 ° C (CVD-TF) обеспечивает экспериментальную среду с вакуумом, контролируемой атмосферой и высокой температурой и используется в полупроводниковой, нанотехнологической, оптоволоконной и других областях. Эта система роста CVD подходит для процессов CVD, таких как покрытие карбидом кремния, испытание проводимости керамической подложки, контролируемый рост наноструктуры ZnO, спекание керамического конденсатора (MLCC) в атмосфере и другие эксперименты.

1. Печь изготовлена из поликристаллического муллитового волокна с вакуумной адсорбцией, температурное поле является равномерным, а энергосбережение составляет более 50%.

2. Самостоятельно разработанная технология отвода воздуха и теплоизоляции обеспечивает срок службы и постоянный температурный эффект каждого компонента в коробке.

3. При запуске электрической печи одновременно автоматически включается вытяжной вентилятор. После испытания вытяжной вентилятор будет продолжать работать до тех пор, пока температура корпуса печи не станет ниже 60 °C, и вытяжной вентилятор автоматически остановится, что эффективно защитит поверхность корпуса печи.

4. Дверца печи открывается с автоматическим отключением питания, функцией защиты от перегрева и функцией защиты от утечек для обеспечения безопасности использования.

5. Схема использует режим непрерывного нагрева, двухконтурный источник питания и раздельную проводку сильного и слабого тока, что повышает стабильность системы.

6. Модуль нагрева использует сигнал постоянного тока для регулировки выходной мощности, что позволяет избежать помех от наведенного электричества на управляющий сигнал.

7. Низковольтные металлические кнопки используются для кнопок управления, с индикаторами состояния, безопасным и интуитивно понятным управлением.

8. Верхний и нижний корпуса печи соединяются авиационными штекерами, которые безопасны, надежны и удобны в подключении.

9. Узел газового контура изготовлен из пищевой нержавеющей стали 316, которая обладает коррозионной стойкостью, стойкостью к атмосферной коррозии и высокой термостойкости, а также немагнитна.

10. Принять цифровой прибор отображения расхода, сотрудничать с регулятором массового расхода, собирать данные и контролировать расход. Он имеет характеристики хорошей повторяемости, быстрой скорости отклика, стабильности и надежности. (Система управления массовым расходом газа)

11. Автоматическое управление и функция переключения ручного управления, режим автоматического управления может автоматически открывать / закрывать вакуумный насос через заданное значение, так что контейнер может поддерживаться в пределах определенного диапазона вакуумного давления. В режиме ручного управления пользователь непосредственно управляет вакуумным насосом с помощью кнопки включения/выключения вакуумного насоса. для удовлетворения потребностей различных экспериментов. (Система контроля среднего вакуума)

12. Технология медленного пуска соленоидного клапана открывает соленоидный клапан через 10 секунд после включения вакуумного насоса, так что давление системы в трубе печи поддерживается точным, а также гарантирует, что выхлопной газ не вернется в печь. система трубок для воздействия на экспериментальный эффект (система управления средним вакуумом)

13. Сигнализация перегрева, блокировка меню, предотвращение перегрева, задержка восстановления питания.

14. Используя технологию одностороннего клапана, поток газа контролируется в пределах контролируемого диапазона давления для обеспечения безопасности.

15. Принято устройство резервуара для смешивания газа, так что газ может быть введен в рабочее помещение после полного смешивания, чтобы гарантировать, что он не будет просачиваться.

Модель CVD-LTF16P50

CVD-LTF16P60 CVD-LTF16P80

CVD-LTF16P100 CVD-LTF16P60S

CVD-LTF16P80S CVD-LTF16P100S CVD-LTF16T50

CVD-LTF16T60 CVD-LTF16T80

CVD-LTF16T100 CVD-LTF16P60S

CVD-LTF16T80S CVD-LTF16T100S Диапазон рабочих температур

300~1600℃ Температурное разрешение

1℃ Контроль температуры

± 1℃ Степень нагрева

0~20℃/мин Длина зоны нагрева

260mm

600mm Длина зоны постоянной температуры

120mm

300mm степень вакуума

-0,1 МПа Время нагрева пустой печи

<15 мин. Внешний вид

Лист стальной холоднокатаный с химически стойким покрытием на поверхности Корпус печи

Поликристаллическое муллитовое волокно Размер печи

440*390*330

780*390*330 Трубка печи

Корундовая трубка Размер трубы печи φ50*1000

φ60*1000 φ80*1000

φ100*1000 φ60*1200

φ80*1200 φ100*1200 Обогреватель

Кремний-молибденовый стержень Мощность нагрева

4KW

4KW

10KW

10KW Теплоизоляционный слой

Двухслойный принудительный отвод воздуха Контроллер

P: цифровой дисплей контроля температуры импортированной программы; T: 7-дюймовый цветной сенсорный экран программный контроль температуры Метод управления

Используйте ПИД-регулятор микрокомпьютера / раздельный контроль температуры с двумя температурными зонами S-типа Как установить

P: коснитесь пяти кнопок для действия, настройки цифрового дисплея; T: коснитесь пальца, чтобы установить Метод отображения

P: двухстрочный светодиодный цифровой дисплей; T: цветной ЖК-дисплей Сроки

0~999,9 часов Функция запуска

Работа с фиксированным значением, программная работа Программный режим

P: Работа программы, 4 кривые, всего 40 шагов; T: 50 шагов могут вызвать сохраненную программу Датчик

Термопара типа S Вспомогательная функция

P: функция коррекции; T: функция коррекции, запись кривой в реальном времени, экспорт данных на U-диск Спасательное оборудование

Выключатель защиты от перегрузки по току

Переключатель защиты от перегрузки по току Количество воздушных путей

3 канала (количество эфирных каналов можно выбрать в соответствии с конкретными потребностями) Диапазон расхода

0-0500sccm (стандартный мл/мин, опционально) стандарт азота Точность

±1% полной шкалы Время отклика

≤4 с Рабочая температура (расходомер)

5-45℃ Рабочее давление

Давление на входе 0,05-0,3 МПа (избыточное давление) Системное подключение

Применение сильфонов быстрого соединения KF, ручного откидного клапана высокого вакуума и вакуумного измерительного прибора с цифровым дисплеем. Диапазон вакуума системы

10-100Па Вакуумный насос

Теоретическая предельная степень вакуума двухступенчатого механического насоса составляет 3x10-1Па, скорость откачки - 4 л/с, выход воздуха оснащен масляным фильтром, номинальное напряжение - 200 В, мощность - 0,55 кВт. Конфигурация системы ССЗ

Вакуумная трубчатая печь на 1600 градусов (опционально: одна температурная зона, двойная температурная зона) Многоканальная система управления массовым потоком Вакуумная система