Вакуумно-атмосферная трубчатая печь открытого типа CVD-система 1200°C

1200°C Вакуумно-атмосферная трубчатая печь открытого типа CVD-система

Обеспечьте экспериментальную среду вакуумом, контролируемой атмосферой и высокой температурой, используемую в полупроводниках, нанотехнологиях, углеродном волокне и других областях. Эта система роста CVD подходит для процессов CVD, таких как покрытие карбидом кремния, тестирование проводимости керамической подложки, контролируемый рост наноструктур ZnO и эксперименты по спеканию в атмосфере MLCC.

модельCVD-LTF12P/ CVD-LTF12T Series
маркаLABOAO

Обеспечьте экспериментальную среду вакуумом, контролируемой атмосферой и высокой температурой, используемую в полупроводниках, нанотехнологиях, углеродном волокне и других областях.

Эта система роста CVD подходит для процессов CVD, таких как покрытие карбидом кремния, тестирование проводимости керамической подложки, контролируемый рост наноструктур ZnO и эксперименты по спеканию в атмосфере MLCC.

ФУНКЦИИ

1. Печь изготовлена из поликристаллического муллитового волокна с вакуумной адсорбцией, температурное поле является равномерным, а энергосбережение составляет более 50%.

2. Самостоятельно разработанная технология отвода воздуха и теплоизоляции обеспечивает срок службы и постоянный температурный эффект каждого компонента в коробке.

3. При запуске электрической печи одновременно автоматически включается вытяжной вентилятор. После испытания вытяжной вентилятор будет продолжать работать до тех пор, пока температура корпуса печи не станет ниже 60 °C, и вытяжной вентилятор автоматически остановится, что эффективно защитит поверхность корпуса печи.

4. Дверца печи открывается с автоматическим отключением питания, функцией защиты от перегрева и функцией защиты от утечек для обеспечения безопасности использования.

5. Схема использует режим непрерывного нагрева, двухконтурный источник питания и раздельную проводку сильного и слабого тока, что повышает стабильность системы.

6. Модуль нагрева использует сигнал постоянного тока для регулировки выходной мощности, что позволяет избежать помех от наведенного электричества на управляющий сигнал.

7. Низковольтные металлические кнопки используются для кнопок управления, с индикаторами состояния, безопасным и интуитивно понятным управлением.

8. Верхний и нижний корпуса печи соединяются авиационными штекерами, которые безопасны, надежны и удобны в подключении.

9. Узел газового контура изготовлен из пищевой нержавеющей стали 316, которая обладает коррозионной стойкостью, стойкостью к атмосферной коррозии и высокой термостойкости, а также немагнитна.

10. Принять цифровой прибор отображения расхода, сотрудничать с регулятором массового расхода, собирать данные и контролировать расход. Он имеет характеристики хорошей повторяемости, быстрой скорости отклика, стабильности и надежности. (Система управления массовым расходом газа)

11. Автоматическое управление и функция переключения ручного управления, режим автоматического управления может автоматически открывать / закрывать вакуумный насос через заданное значение, так что контейнер может поддерживаться в пределах определенного диапазона вакуумного давления. В режиме ручного управления пользователь непосредственно управляет вакуумным насосом с помощью кнопки включения/выключения вакуумного насоса. для удовлетворения потребностей различных экспериментов. (Система контроля среднего вакуума)

12. Технология медленного пуска соленоидного клапана открывает соленоидный клапан через 10 секунд после включения вакуумного насоса, так что давление системы в трубе печи поддерживается точным, а также гарантирует, что выхлопной газ не вернется в печь. система трубок для воздействия на экспериментальный эффект (система управления средним вакуумом)

СПЕЦИФИКАЦИЯ

Модель CVD-LTF12P50 CVD-LTF12P60 CVD-LTF12P80 CVD-LTF12P100 CVD-LTF12T50 CVD-LTF12T60 CVD-LTF12T80 CVD-LTF12T100 CVD-LTF12P50S CVD-LTF12P60S CVD-LTF12P80S CVD-LTF12P100S CVD-LTF12T50S CVD-LTF12T60S CVD-LTF12T80S CVD-LTF12T100S Диапазон рабочих температур

300-1200°С температурное разрешение

1°С точность температуры

±1°С Степень нагрева

0-20°С/мин Длина зоны нагрева

420мм Длина зоны постоянной температуры

Одна температурная зона: 210 мм, двойная температурная зона: 280 мм максимальный вакуум

-0.1MP3 Время нагрева пустой печи

≤15мин Скорость нагрева при настройке печной трубы

Ниже 500°C≤5°C/мин； 500-800≤10°C/мин； 800-1000≤5°C/мин； 1000-1200≤2t°C/мин Внешний вид

Листы стальные холоднокатаные - поверхностное химстойкое покрытие Корпус печи

Поликристаллическое муллитовое волокно Размер печи

Снаружи：φ240-550мм；Внутренний：φ120*420мм Трубка печи

Кварцевая трубка Размер трубы печи φ50/43*1000 φ 60/53*1000 φ80/72*1000 φ 100/92*1000 Обогреватель

Проволока из никель-хромоалюминиевого сплава ОХ27А17МО2 Мощность нагрева

Одна температурная зона: 3 кВт: двойная температурная зона: 3,2 кВт Теплоизоляционный слой

Двухслойный принудительный отвод воздуха Открытый путь

Сальто назад раскладушкой (около 100 градусов) Контроллер

P: цифровой дисплей контроля температуры импортированной программы; T: 7-дюймовый цветной сенсорный экран программный контроль температуры Метод управления

Использование микрокомпьютерного ПИД-управления / S-типа с двумя температурными зонами и одним контролем температуры Тип набора

P: коснитесь пяти кнопок для действия, настройки цифрового дисплея; T: Коснитесь пальцем и коснитесь, чтобы установить Метод отображения

P: двухстрочный светодиодный цифровой дисплей; T: цветной ЖК-дисплей Сроки

0999,9 ч Функция запуска

Операция с фиксированным значением. Работа программы Программный режим

P: работа программы, 4 кривых, всего 40 шагов; T: Максимум 50 шагов, можно вызвать сохраненную программу Датчик

Термопара типа К Вспомогательная функция

P: функция коррекции; T: функция коррекции, запись кривой в реальном времени, экспорт данных на U-диск Спасательное оборудование

Выключатель защиты от перегрузки по току Количество воздушных путей

3 канала (количество эфирных каналов можно выбрать в соответствии с конкретными потребностями) Диапазон расхода

00500 см3/мин (стандартный мл/мин, опционально) Стандарт азота Точность

±1% полной шкалы Время отклика

≤4 с Рабочая температура (расходомер)

5-45°С Рабочее давление

Давление на входе 0,05-0,3 МПа (избыточное давление) Системное подключение

Применение сильфонов быстрого соединения KF, ручного откидного клапана высокого вакуума и вакуумного измерительного прибора с цифровым дисплеем. Диапазон вакуума системы

10-100Па Вакуумный насос

Теоретическая предельная степень вакуума двухступенчатого механического насоса составляет 3×10-1 Па, скорость откачки 4 л/с, воздуховыпускное отверстие оснащено масляным фильтром, номинальное напряжение 200 В, мощность 0,55 кВт. Конфигурация системы ССЗ

1200-градусная открытая вакуумная трубчатая печь (опционально: одна температурная зона, двойная температурная зона) Многоканальная система управления массовым потоком Скрученная вакуумная система Размеры корпуса печи

980мм*400мм*600мм Размеры системы

770мм*580мм*778мм Общий вес системы

210 кг

ПРИЛОЖЕНИЕ