Вакуумно-атмосферная трубчатая печь CVD-система 1600°C

1600 ° S vakuumli atmosfera trubkasi o'choqli CVD tizimi

1600 ° C vakuum / atmosfera trubkasi pechining CVD tizimi (CVD-TF) vakuum, boshqariladigan atmosfera va yuqori haroratli eksperimental muhitni ta'minlaydi va yarimo'tkazgich, nanotexnologiya, optik tolali va boshqa sohalarda qo'llaniladi. Ushbu CVD o'sish tizimi kremniy karbid qoplamasi, keramik substratning o'tkazuvchanligini sinash, ZnO nanostrukturasining boshqariladigan o'sishi, seramika kondansatkichning (MLCC) atmosfera sinterlanishi va boshqa tajribalar kabi CVD jarayonlari uchun javob beradi.

1600 ° C vakuum / atmosfera trubkasi pechining CVD tizimi (CVD-TF) vakuum, boshqariladigan atmosfera va yuqori haroratli eksperimental muhitni ta'minlaydi va yarimo'tkazgich, nanotexnologiya, optik tolali va boshqa sohalarda qo'llaniladi. Ushbu CVD o'sish tizimi kremniy karbid qoplamasi, keramik substratning o'tkazuvchanligini sinash, ZnO nanostrukturasining boshqariladigan o'sishi, seramika kondansatkichning (MLCC) atmosfera sinterlanishi va boshqa tajribalar kabi CVD jarayonlari uchun javob beradi.

1. Pech vakuumli adsorbsionli polikristalli mullit tolasidan tayyorlangan, harorat maydoni bir xil va energiya tejash 50% dan ortiq.

2. Mustaqil ravishda ishlab chiqilgan havo drenaji va issiqlik izolyatsiyasi texnologiyasi qutidagi har bir komponentning xizmat muddati va doimiy harorat ta'sirini ta'minlaydi.

3. Elektr pechi ishga tushganda, egzoz foniy bir vaqtning o'zida avtomatik ravishda yoqiladi. Sinovdan so'ng, egzoz foniy o'choq tanasi harorati 60 ° C dan past bo'lguncha ishlashni davom ettiradi va egzoz foniy avtomatik ravishda to'xtaydi, bu esa o'choq tanasi yuzasini samarali himoya qilishi mumkin.

4. Foydalanish xavfsizligini ta'minlash uchun pechning eshigi avtomatik quvvatni o'chirish, haddan tashqari qizib ketishdan himoya qilish va qochqinlarni himoya qilish funktsiyasi bilan ochiladi.

5. O'chirish uzluksiz isitish rejimini, ikki pallali elektr ta'minotini va alohida yuqori va past oqim simlarini qabul qiladi, bu tizimning barqarorligini yaxshilaydi.

6. Isitish moduli chiqish quvvatini sozlash uchun shahar signalidan foydalanadi, bu esa induktsiyalangan elektr energiyasidan nazorat signaliga shovqinni oldini oladi.

7. Past kuchlanishli metall tugmalar boshqaruv tugmalari uchun ishlatiladi, holat ko'rsatkichlari, xavfsiz va intuitiv ishlashi.

8. Pechning yuqori va pastki korpuslari xavfsiz, ishonchli va ulanish uchun qulay bo'lgan aviatsiya vilkalari bilan bog'langan.

9. Gaz sxemasi majmuasi korroziyaga chidamliligi, atmosfera korroziyaga chidamliligi va yuqori haroratga chidamliligi va magnit bo'lmagan oziq-ovqat toifasi 316 zanglamaydigan po'latdan yasalgan.

10. Raqamli oqimni ko'rsatish moslamasini qabul qiling, ommaviy oqim boshqaruvchisi bilan hamkorlik qiling, ma'lumotlarni to'plang va oqimni boshqaring. U yaxshi takrorlanuvchanlik, tezkor javob tezligi, barqarorlik va ishonchlilik xususiyatlariga ega. (Gaz massasi oqimini boshqarish tizimi)

11. Avtomatik boshqaruv va qo'lda boshqaruvni almashtirish funktsiyasi, avtomatik boshqaruv rejimi vakuum nasosini belgilangan qiymat orqali avtomatik ravishda ochishi / yopishi mumkin, shunda konteyner ma'lum vakuum bosimi oralig'ida saqlanishi mumkin. Qo'lda boshqarish rejimida foydalanuvchi vakuum nasosini yoqish / o'chirish tugmasi yordamida bevosita vakuum nasosini boshqaradi. turli tajribalar ehtiyojlarini qondirish uchun. (O'rta vakuumni boshqarish tizimi)

12. Elektromagnit klapanning sekin ishga tushirish texnologiyasi vakuum pompasi yoqilgandan keyin 10 soniyadan so'ng solenoid klapanni ochadi, shuning uchun o'choq trubkasidagi tizim bosimi to'g'ri saqlanadi, shuningdek, chiqindi gazning o'choqqa qaytmasligini ta'minlaydi. eksperimental effektga ta'sir qilish uchun quvur tizimi (o'rta vakuumni boshqarish tizimi)

13. Haddan tashqari issiqlik signali, menyu blokirovkasi, qizib ketishning oldini olish, quvvatni qayta tiklash kechikishi.

14. Bir tomonlama valf texnologiyasidan foydalangan holda, gaz oqimi xavfsizlikni ta'minlash uchun nazorat qilinadigan bosim oralig'ida nazorat qilinadi.

15. Gazni aralashtirish tanki qurilmasi gazning oqmasligini ta'minlash uchun to'liq aralashtirilgandan keyin ish xonasiga kiritilishi uchun qabul qilinadi.