Автоматическая зондовая станция
- Bo'lim
- Ishlab chiqaruvchi
Rossiya
Ushbu sotuvchidan boshqa mahsulotlar
Ta'rif
ондовая установка предназначена для реализации автоматического режима загрузки, позиционирования и контактирования полупроводниковых пластин для обеспечения измерений кристаллов, расположенных на пластине.
Зондовая установка предназначена для работы со стандартными полупроводниковыми пластинами диаметром 4 ̋, 5 ̋ , 6 ̋ и 8 ̋.
Зондовая установка обеспечивает работы загрузку/выгрузку пластин в стандартные кассеты на 13 позиций для пластин диаметром 4 ̋, 5 ̋, 6 ̋ и 8 ̋.
Зондовая установка обеспечивает работу с пластинами толщиной от 100 до 2200 мкм (поддерживает загрузку тонких пластин)
Для обеспечения электроконтроля полупроводниковых пластин, зондовая станция обеспечивает возможность стыковки с контрольно-измерительным оборудованием.
Характеристика оборудования:
| Наименование параметра | Величина параметра | |
| Тип размещения | Напольный | |
| Габаритные размеры базового блока (ШхГхВ) | 1124х1158х955мм | |
| Вес установки | 1200 кг | |
| Питание | 230В 50Гц | |
| Потребляемая мощность | Не более 3 кВА, включая подогрев держателя пластин. 1ф. | |
| Диаметр тестируемых пластин | 4″， 5″， 6″，8″ | |
| Точность позиционирования | ± 2 мкм | |
| Температурный диапазон | - 45~200℃ | |
| Интерфейс | GPIB, RS232 | |
| Перемещение держателя X/Y | ±120 мм | |
| Толщина пластины | От 100 до 2200 мкм ( Наличие опции для работы с тонкими пластинами) | |
| Вес пластины | Не более 500 г | |
| Размер контактной площадки | 200-100000 мкм | |
| Ось ХУ | ход по осях | Х: 260 мм , У: 450 мм |
| повторяемость | менее ± 1мкм | |
| разрешение | 0,1 мкм | |
| скорость перемещения по осям | 200 мм/сек | |
| Ось Z | полный ход по оси | 80 мм, контактирование при ходе от 60 до 80 мм |
| повторяемость | менее ± 1мкм | |
| разрешение | 0,1 мкм | |
| скорость перемещения по оси | 80 мм/сек | |
| Ось Ɵ | диапазон вращения по Theta | ±10° |
| точность | 1 мкм | |
| разрешение | 0.1μm（0.00004°） | |
| Плоскостность столика | 20 мкм ( при температуре от 20°С до 200°С) | |
| Диапазон вращения по Theta | ±10° (с шагом 0.00004°) | |
| Поддерживаемый размер кристалла | от 0.20 до 100 мм | |
| LCD дисплей не менее 15 дюймов | Сенсорное управление, цветной дисплей | |
| Максимальное напряжение по линиям измерительного оборудования (измерительное оборудование в комплект поставки не входит) | до 3000 В | |
| Опции: | По запросу | |
Xarakteristikalar
- Bo'lim
- Ishlab chiqaruvchi
Rossiya
Mahsulotning texnik tavsiflari, etkazib berish hajmi, ishlab chiqarilgan mamlakati, tashqi ko'rinishi va rangi haqidagi ma'lumotlar faqat ma'lumot uchun mo'ljallangan va nashr etilgan paytda mavjud bo'lgan eng so'nggi ma'lumotlarga asoslanadi.
Tafsiya qilamiz
Birga harid qilishadi
Fikr-mulohazalar
Baxo yo'q
Fikr-mulohaza qoldirish