Vakuumli atmosfera trubkasi o'chog'i CVD tizimi 1400 ℃

1400℃ Вакуумная атмосферная трубчатая печь CVD-система

Обеспечивает экспериментальную среду с вакуумом, контролируемой атмосферой и высокой температурой. Эта система роста CVD подходит для процессов CVD, таких как покрытие карбидом кремния, тестирование проводимости керамической подложки, контролируемый рост наноструктур ZnO и эксперименты по спеканию в атмосфере MLCC.

модельCVD-LTF14P/ CVD-LTF14T Series
маркаLABOAO

Обеспечивает экспериментальную среду с вакуумом, контролируемой атмосферой и высокой температурой.

Эта система роста CVD подходит для процессов CVD, таких как покрытие карбидом кремния, тестирование проводимости керамической подложки, контролируемый рост наноструктур ZnO и эксперименты по спеканию в атмосфере MLCC.

ФУНКЦИИ

1. Печь изготовлена из поликристаллического муллитового волокна с вакуумной адсорбцией, температурное поле является равномерным, а энергосбережение составляет более 50%.

2. Технология отвода воздуха и теплоизоляции обеспечивает срок службы и постоянный температурный эффект каждого компонента в коробке.

3. Запустите электропечь, одновременно автоматически заработает вытяжной вентилятор. После испытания вытяжной вентилятор будет продолжать работать до тех пор, пока температура корпуса печи не станет ниже 60 °C, и вытяжной вентилятор автоматически остановится, что эффективно защитит поверхность корпуса печи.

4. Автоматическое отключение питания, функция защиты от перегрева, функция защиты от утечек для обеспечения безопасности использования.

5. Схема использует непрерывный режим нагрева, двухконтурный источник питания и раздельная проводка сильного и слабого тока улучшают стабильность системы.

6. Нагревательный модуль использует сигнал постоянного тока для регулировки выходной мощности, что позволяет избежать помех от наведенного электричества на управляющий сигнал.

7. Автоматическая компенсация эффекта контроля температуры, вызванного температурой или старением, при изменении значения сопротивления стержня из карбида кремния, что позволяет избежать неточности и опасности искусственной регулировки.

8. Принять цифровой прибор отображения расхода, сотрудничать с регулятором массового расхода, собирать данные и контролировать расход. Он имеет характеристики хорошей повторяемости, быстрой скорости отклика, стабильности и надежности. (Система управления массовым расходом газа)

9. Функция переключения автоматического управления и ручного управления, режим автоматического управления может автоматически включать / выключать вакуумный насос через заданное значение, чтобы удерживать контейнер в пределах определенного диапазона вакуумного давления. В режиме ручного управления пользователь непосредственно управляет вакуумным насосом с помощью кнопки включения/выключения вакуумного насоса. для удовлетворения потребностей различных экспериментов. (Система контроля среднего вакуума)

10 Технология медленного пуска электромагнитного клапана, так что электромагнитный клапан открывается через 10 секунд после включения вакуумного насоса, так что давление системы в трубе печи поддерживается точным, а также гарантирует, что выхлопной газ не вернется в система труб печи, влияющая на экспериментальный эффект (система управления средним вакуумом)

СПЕЦИФИКАЦИЯ

Модель CVD-LTF14P40 CVD-LTF14P50 CVD-LTF14P60 CVD-LTF14P80 CVD-LTF14T40 CVD-LTF14T50 CVD-LTF14T60 CVD-LTF14T80 Диапазон рабочих температур

300~1400℃ Температурное разрешение

1℃ Контроль температуры

± 1℃ Степень нагрева

0~20℃/мин Длина зоны нагрева

200mm

400mm Длина зоны постоянной температуры

70mm

140mm степень вакуума

-0,1 МПа Время нагрева пустой печи

≤15мин Скорость нагрева при настройке печной трубы

Ниже 500℃ ≤5℃/мин；500-1000≤10℃/мин；1000-1200≤5℃/мин；1000-1400≤2℃/мин Внешний вид

Лист стальной холоднокатаный с химически стойким покрытием на поверхности Корпус печи

Поликристаллическое муллитовое волокно Размер печи

360*350*350mm

560*350*350mm Трубка печи

Корундовая трубка Размер трубы печи Φ40/34*1000 Φ50/44*1000 Φ60/50*1000 Φ80/70*1000 Обогреватель

Стержень из карбида кремния Мощность нагрева

3KW

5KW Теплоизоляционный слой

Двухслойный принудительный отвод воздуха Открытый путь

Нет Контроллер

P: цифровой дисплей контроля температуры импортированной программы; T: 7-дюймовый цветной сенсорный экран программный контроль температуры Метод управления

Использование ПИД-регулятора микрокомпьютера Как установить

P: коснитесь пяти кнопок для действия, настройки цифрового дисплея; T: Коснитесь пальцем и коснитесь, чтобы установить Метод отображения

P: двухстрочный светодиодный цифровой дисплей; T: цветной ЖК-дисплей Сроки

0~999,9 часов Функция запуска

Работа с фиксированным значением, программная работа Программный режим

P: работа программы, 4 кривых, всего 40 шагов; T: 50 шагов могут вызвать сохраненную программу Датчик

Термопара типа S Вспомогательная функция

P: функция коррекции; T: функция коррекции, запись кривой в реальном времени, экспорт данных на U-диск Спасательное оборудование

Выключатель защиты от перегрузки по току Количество воздушных путей

3 канала (количество эфирных каналов можно выбрать в соответствии с конкретными потребностями) Диапазон расхода

0-0500sccm (стандартный мл/мин, опционально) стандарт азота Точность

±1% полной шкалы Время отклика

≤4 с Рабочая температура (расходомер)

5-45℃ Рабочее давление

Давление на входе 0,05-0,3 МПа (избыточное давление) Системное подключение

Применение сильфонов быстрого соединения KF, ручного откидного клапана высокого вакуума и вакуумного измерительного прибора с цифровым дисплеем. Диапазон вакуума системы

10-100Па Вакуумный насос

Теоретическая предельная степень вакуума двухступенчатого механического насоса составляет 3x10-1Па, скорость откачки - 4 л/с, выход воздуха оснащен масляным фильтром, номинальное напряжение - 200 В, мощность - 0,55 кВт. Конфигурация системы ССЗ

Вакуумная трубчатая печь 1400 градусов Многоканальная система управления массовым расходом Вакуумная система